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微小气体质量流量计的面板操作说明

点击次数:780 发布时间:2016/7/1
提 供 商: 江苏苏川仪表有限公司 资料大小:
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资料类型: DOC 浏览次数: 780
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采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS( Microelectromechanical systems)气体质量流量计和流量控制器,主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿。

 
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